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產(chǎn)品目錄

貝意克磁力拉桿式硫化鉬制備CVD設(shè)備

品名: 貝意克磁力拉桿式硫化鉬制備CVD設(shè)備
型號(hào): BTF-1200C-CVD 磁力拉桿
  • 產(chǎn)品詳情
  • 規(guī)格參數(shù)

此設(shè)備特點(diǎn)是將硫粉放于左端冷區(qū),當(dāng)硫化過(guò)程開(kāi)始時(shí)利用拉桿式將硫粉推進(jìn)熱場(chǎng)??刂齐娐愤x用模糊PID程控技術(shù),具有控溫精度高,溫沖幅度小,性能可靠,簡(jiǎn)單易操作。同樣也適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。

技術(shù)參數(shù)

拉桿式硫化鉬制備設(shè)備

爐管尺寸:

外徑Φ25/50/60/80/100*1000mm(可選)

極限溫度:

1200℃

工作溫度:

≤1100 ℃

溫度控制器:

PID自動(dòng)控制晶閘管(可控硅)輸出功率, 30段可編程控制器

升溫速率:

≤50℃/min

加熱區(qū):

200+200mm

恒溫區(qū):

100+100mm

控溫精度:

±1 ℃

電源:

單相220V,交流50Hz

3路質(zhì)量流量供氣系統(tǒng)

(觸摸屏控制)

拉桿式硫化鉬制備設(shè)備

**電壓:

185~245V/50Hz

**輸出功率:

18W

流量計(jì)標(biāo)準(zhǔn)量程:

100 ,200,500SCCM

(非特殊指定以氮?dú)鈽?biāo)定,量程可選定)

工作溫度:

5~45 oC

工作壓差:

0.1~0.5 MPa

**壓力:

3MPa

準(zhǔn)確度:

±1.5% FS 

低真空系統(tǒng)

拉桿式硫化鉬制備設(shè)備

抽速:

8.11 m3/h

極限總壓:

3×10-3 mabr

進(jìn)排氣口:

DN 25 KF

噪音

(氣鎮(zhèn)開(kāi)關(guān)時(shí),距離1米處測(cè)量)

54 dB

注油量:

0.7- 1.1 L

重量:

21 Kg

工作溫度:

10~40 ℃

功率:

550W